マイクロスクラッチ試験
−基板と薄膜の付着性評価−
マイクロスクラッチ法とは
圧子針（ダイヤモンド圧子）を水平に微小振動させながら連続的に荷重を加えていき、薄膜の剥離や破壊等の損傷が生じる地点の荷重から、薄膜の付着力を試験する方法です。
＜サンプルについて＞
| 膜種 | 金属膜、酸化膜など |
|---|---|
| 基板 | ガラス、Siウエハ、金属など |
| 膜厚 | 〜1μm |
| サイズ | 約30mm角×＜1mm厚 |
※『JIS R 3255』 に準じた測定を実施しています。
図．スクラッチ試験の測定概要
測定例
| 図．石英基板/Cr膜（使用圧子:5μm） | 図．石英基板/TiO2膜（使用圧子:15μm） |
その他の事例
メディア膜、ガラス基板上の多層膜、有機薄膜、各種保護膜 など
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