薄膜の応力測定
ニュートンリング法
薄い円盤形の基板に各種の薄膜を成膜して、基板の反り（曲率半径）を干渉縞から算出します。
測定できるサンプルサイズはΦ30mmです。板厚は0.1mmtで、石英ガラスの基板に薄膜を成膜したものを測定します。サンプル作製（成膜）は当社でも行ないますが、お客様に上記の基板ガラスを提供して（有償）、薄膜を成膜していただくことも可能です。
| E | ：基板のヤング率 |
| b | ：基板の厚み |
| ν | ：基板のポアソン比 |
| d | ：薄膜の厚み |
| r | ：曲率半径 |
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図．ニュートンリング法の基本構成 |
図．測定されたニュートンリングの写真例 |
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