表面抵抗率測定
｜表面抵抗率測定とは｜測定方法｜測定器の特徴｜測定範囲｜測定例｜
表面抵抗率測定とは
この測定方法は、固体絶縁体表面、あるいは絶縁膜付き絶縁体の表面の電気抵抗を3端子法で測定する方法です。
測定方法
試料表面および裏面に金を蒸着して測定電極を作製し、真空中・大気中雰囲気でM-H端子間に電圧をかけ（下図参照）、漏れ電流を測定する方法です。そのほか、試料に金電極を蒸着する代わりに簡易電極（密着による電気接触形）での測定も可能です。
測定器の特長
100サンプリング/秒の高速測定に加え、接触チェック、シーケンス･プログラムなどのインテリジェントな機能を持ち、高抵抗測定が簡単かつ高速にできます。
測定範囲
| 印可電圧 | 0.001V 〜 1000V |
|---|---|
| 測定抵抗値 | 10Ω 〜 3×1016Ω |
| 測定電流値 | 10fA〜19.999mA |
| 試料サイズ | 100mm角 |
測定例
| 板ガラス | 1×1015Ω/□ |
|---|---|
| ガラス基板上のTiO2膜 （膜厚200nm） |
2.5×1014Ω/□ |
測定事例
ガラス基板上のSiO2膜、Al2O3膜、SnO2膜…など
| 測定雰囲気 | 真空中（4×10-4Pa） |
|---|---|
| 電極 | 金蒸着 |
| 印可電圧 | 250V |
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