高周波誘導結合プラズマ発光分光分析(ICP-AES)
測定原理
高周波誘導結合プラズマ (ICP : Inductively Coupled Plasma) を励起源とする発光分光分析 (ICP-AES : Inductively Coupled Plasma - Atomic Emission Spectroscopy) です。高温のアルゴンプラズマに霧化した試料溶液を導入し、発光スペクトル線を回折格子で分光します。分光によって得られたスペクトル線の波長と強度から元素の定性、定量分析を行います。
ICPの特徴
- 元素間の干渉が少ないため、共存元素の影響を受けにくい。
- 測定濃度範囲が広いため、検量線の水準が少なくてよい。
- ppbレベルの検出感度が得られる。
分析例
- ガラス
硼珪酸系、りん酸系、アルミノ珪酸系、またソーダーライム系などのガラスについては全て分析可能です。 - 原料、鉱物
珪砂組成及び珪砂中のCr成分、および岩石、鉱物の組成も分析可能です。 - 薄膜
薄膜の組成分析（ppm〜ppb）を行っています。
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