蛍光X線分析装置(XRF)
装置概要・装置原理
X線管より発生したX線を試料に照射し、試料から発生した蛍光X線（固有X線）を分光結晶により分光します。回折角度は元素によって特有のものですので、回折角度によって定性分析、強度から定量分析を行います。
※XRF : X-ray Fluorescence（蛍光X線分析法、蛍光X線分析装置）
XRFの特徴
- 分析が迅速で、品質管理などに最適です。
- 非破壊分析です。
- F〜Uまで分析可能（Rhを除く）です。
- 定性・定量方法が数種あるため、サンプルによって分析方法を選択する必要があります。
分析法
- ファンダメンタルパラメーター（FP）法
含有量既知の試料の強度と比較し定量分析を行います。 - 検量線法
検量線を作成して、定量分析を行います。
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