電界放射型走査型電子顕微鏡(FE-SEM)

｜測定原理｜特徴｜装置｜観察例｜

測定原理

FE-SEM (Field Emission - Scanning Electron Mictoscope) では、真空中の物体に細い電子線（電子プローブ）を照射したときに発生する2次電子線や反射電子線などの信号をそれぞれの検出器を用いて取り出し、ブラウン管の上に像を形成して主として試料の表面形態を観察します。同時に電子プローブの照射点から励起されて発生する特性X線を利用して、照射点近傍の元素分析を行うことも可能です。

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特徴

  1. 表面形態観察では、光を用いて物体を観察したときと似たような観察像の解釈が可能です。焦点深度が深いので、凹凸の激しい試料の表面形態も観察ができます。
  2. バルクや繊維状の試料など、様々な形態の試料を観察できます。
  3. 電界放射型の電子銃を使用していますので、高分解能で輝度が高い、すなわち明るい像を得られます。
  4. SEMに装着されたEDX（エネルギー分散型X線検出器）を用いて元素分析ができます。
  5. 検出可能な元素は、B（ホウ素）〜U（ウラン）までで、ノンスタンダード法の定量や半定量分析が可能です。

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装置

  • 伊丹事業所　：日立製作所製 S4500型
  • 四日市事業所：日立製作所製 S4700型

エネルギー分散型X線検出器(EDX)は、エダックス社製の検出器（軽元素測定用）を使用しています。

S4700外観 Osコーター装置

図．最新型SEM（日立 S4700）

図．Osコーター装置

最も緻密なスパッタ膜を成膜して10万倍以上の高倍率の撮影に威力を発揮します。

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観察例

表面観察写真 破断面観察写真

図．酸化物膜の表面形状の観察例　15万倍

成膜時の結晶粒子の組織や配向などを観察することができます。当社では15万倍までの撮影が可能で、常時10万倍撮影を行っています。

図．誘電体多層膜の破断面

ガラス基板上の薄膜や多層膜の断面SEM観察では、高いサンプル調製技術を必要とします。当社では、永年の経験と技術に基づいて最高品質の断面SEM写真を提供します。

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このページの情報に関するお問い合わせは、当社四日市事業所または伊丹事業所までお願いいたします。