走査型プローブ顕微鏡(SPM)観察
測定原理・特徴
SPM (Scanning Probe Microscope) とは、鋭く尖った探針（プローブ）と試料間に働く様々な物理量を検出しながら走査することにより、微小領域の形状観察や物性分析を行う顕微鏡の総称です。
当社では、SPMによる形状観察の代表的なモードである原子間力顕微鏡 (AFM : Atomic Force Microscope) 及びダイナミックフォースモード（DFM：共振モードAFMとも呼ばれる）を用いて、試料表面の3次元形状を観察しています。どちらのモードもプローブと試料間に作用する力（原子間力）を検出しています。
表面形状以外には、磁区パターンを観察する磁気力顕微鏡(MFM)や、ねじれ変位を測定する摩擦力顕微鏡(FFM)、あるいは柔らかいサンプルなどに対して、間欠的にサンプル表面をトレースできるDFMもあります。
図 SPM原理図
使用装置
NanoNaviステーション + SPA-400ユニット（SII NanoTechnology製）
試料サイズと取扱い
- 試料のサイズ：20mm□以下、厚さ10mm以下
- サンプルの取扱い：測定面は非接触状態でご送付願います。
詳細はお問い合わせ願います。
AFM測定の一例
TiO2膜観察例（添付可能な報告データ）
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平面図 |
鳥瞰図 |
鳥瞰図（長方形スキャン） |
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表面粗さ解析（左：JIS B0601:1982,右：JIS B0601: 2001）
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