赤外分光分析(FT-IR)
測定原理
試料に赤外光を照射すると、試料の分子振動や格子振動により特定波長の赤外吸収が起こり、特有の赤外吸収スペクトルが得られます。得られた吸収位置と強度は化学結合に固有であるため、試料の持つ化学構造の推定が可能です。さらにフーリエ変換赤外分光光度計 (FT-IR : Fourier Transform - Infrared Spectrometer) は一度のスキャンが秒単位と短いため、積算することにより微小試料の測定や試料からの赤外放射の測定が可能となっています。
−特徴−
- 試料形状・分析目的に応じて、各種測定方法を選択可能です。
・・・透過、高感度反射、拡散反射、ATR、顕微透過、顕微反射、顕微ATR、赤外放射 - 最小Φ20μmの微小試料の赤外吸収スペクトルが測定できます。
- 赤外放射測定ユニットを備え、試料からの赤外放射スペクトルを測定できます。
−主な装置仕様−
- フーリエ変換赤外分光光度計JIR-5500（日本電子製）
- 顕微赤外ユニットIR-MAU110（日本電子製）＋高感度MCT検出器
- 赤外放射測定ユニットIR-IRR200（日本電子製）
- マイクロマニピュレータシステムMMS-77（島津製作所製）
分析事例
−微小異物の顕微IR分析−
半導体、液晶、TFT等の工業材料を使った電子製品やハイテク製品は目ざましい発展を遂げています。これに伴い、薄膜や表面の機能のハイレベルな品質の要求から、製品に混入する（特に表面部分）微小異物の分析とそれに基づいた対策や改善の必要性が要求されています。
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その他の実施例
- 有機・無機化合物の定性分析、定量分析
- 微小異物の同定解析
- 試料からの赤外放射測定
関連情報
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